저자 : 이호년
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- KITECH 생산기술 전문지 > 지능화뿌리기술
- Volume 1(2); 2024
- Article
지능화뿌리기술 2024;1(2):7-11. Published online: Oct, 7, 2024
열증발증착법을 활용한 다공성 박막 형성기술 및 활용
- 황세훈*, 정다운**, 이호년***,†
이호년
정다운
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이호년
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정다운
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*한국생산기술연구원 지능화뿌리기술연구소 신산업부품화연구부문/ 연구원 / 032-850-0254 / k128hhs@kitech.re.kr / 주저자
**한국생산기술연구원 지능화뿌리기술연구소 신산업부품화연구부문/ 포스트닥터 / 032-850-0254 / jungdw@kitech.re.kr
***한국생산기술연구원 지능화뿌리기술연구소 신산업부품화연구부문/ 수석연구원 / 032-850-0266 / hnlee@kitech.re.kr /교신저자
초록
나노입자로 구성된 나노구조체의 경우 비표면적이 높아 반응성이 높다는 장점이 있어 화학센서, 바이오센서, 광학전자기기 등에 다양하게 활용되고 있다. 기존에는 나노 다공성 구조를 형성하기 위하여 건식증착 후 선택적 에칭공정을 이용하거나, 습식 합성 및 코팅 후 열처리를 통하여 고표면적 나노구조를 형성하였으나 표면적 증가에 한계가 있었다. 또한 선택적 에칭공정이나 습식합성·코팅 후 열처리의 경우 타겟 물질 뿐만 아니라 불순물이 포함되어 전기화학적 특성 저하의 원인이 된다는 단점이 있다. 본 연구에서는 이를 극복하기 위하여 중소기업에서 일반적으로 활용되고 있는 열증발증착 방식을 기반으로 다양한 금속 및 산화물의 나노 다공성 박막 구현이 가능한 기술을 개발하였으며, 이를 활용하여 표면증강라만산란(Surface Enhanced Raman Scattering, SERS) 기판 및 가스센서에 적용하여 우수한 성능을 나타냄을 확인하였다.
참고 문헌
- Young Min Park, Se Hoon Hwang, Hana Lim, Ho-Nyun Lee, and Hyun-Jong Kim, Chemistry of Materials, 33(1) (2020) 205.
- Sehoon Hwang, Dawoon Jung, Hyun-Jong Kim, Sang Ho Lim, Ho-Nyun Lee, Thin Solid Films, 798 (2024) 140385.
- Dawoon Jung, Sehoon Hwang, Hyun-Jong Kim, Jae-Hee Han, Ho-Nyun Lee, Materials, 15(20) (2022) 7270.
- Min Ah Han, Hyun-Jong Kim, Hee Chul Lee, Jin-Seong Park, Ho-Nyun Lee, Applied Surface Science, 481 (2019) 133.
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