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- KITECH 생산기술 전문지 > 지능화뿌리기술
- Volume 1(1); 2024
- Article
지능화뿌리기술 2024;1(1):176-181. Published online: Jul, 22, 2024
디스플레이 제조용 산화물 반도체 스퍼터 플라즈마 모니터링 실증화 기술 개발
- 양찬우*, 이호년**, †
이호년
양찬우
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이호년
-
양찬우
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* 한국생산기술연구원 지능화뿌리기술연구소 신산업부품화연구부문 / 수석연구원(보) / 032-850-0258 / chanu@kitech.re.kr / 주저자
** 한국생산기술연구원 지능화뿌리기술연구소 신산업부품화연구부문 / 부문장 / 032-850-0258 / hnlee@kitech.re.kr / 교신저자
초록
1. 서 론
4차 산업혁명의 급속한 흐름에 따라 디스플레이 산업에서도 데이터를 근간으로 하는 스마트 팩토리로 변모될 것으로 전망되며, 대기업 주도의 디스플레이 제조산업은 중간(Level 3~4, 표 1 참고)[1] 수준으로 공정 지능화를 위한 인프라가 갖춰져 있으나 고도화가 필요한 상황이다. 현재 제조실행시스템(manufacturing execution system, MES) 기반 생산과정을 전산화, 자동화시켜 실시간으로 모니터링하고 관리할 수 있는 인프라는 구축되어 있으며, MES 하부에 DC(fault detection and classification), RMS(recipe management system) 등과 같은 모듈로 디스플레이 제조 장비의 데이터를 실시간으로 수집하고 장비의 이상을 실시간 감지 및 모니터링 가능하며, 공정을 진행하는 recipe와 parameter 변경 등을 통합 제어 관리할 수 있는 수준이다...
참고 문헌
- 스마트제조혁신추진단, http://www.smart-factory.kr/usr/pr/sf/ma/smrtFctryIntrcn.
- 오세권, 양찬우, KEIT PD ISSUE REPORT MAY (2022) 22-5.
- Hosono, H., Nature Electronics, 1 (2018) 428.
- Noh, J. Y., Han, D. M., Jeong, W. C., Kim, J. W. and Cha, S. Y., Journal of the Society for Information Display, 26(1) (2018) 36.
- Lin, Z., Kang, L., Zhao, J., Yin, Y., Wang, Z., Yu, J., Li, Y., Yi, G., Nathan, A., Li, X., Wu Y., Xu, J. and Si, M., IEEE Transactions on Electron Devices, 71(5) (2024) 3002.
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