저자 : 하철우
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- 뿌리기술뿌리산업 > 지능화뿌리기술
- Volume 1(1); 2023
- Article
지능화뿌리기술 2023;1(1):32-35. Published online: Dec, 15, 2022
이광자 광중합 공정을 활용한 마이크로 3D 형상 제작 기술
- 이지선*, 김호환**, 하철우*†
하철우
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하철우
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이지선
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*한국생산기술연구원 접합적층연구부문, **(주)지엘테크
초록
나노 패터닝 기술을 이용한 반도체 제작 기술은 이론적인 한계 수준에 가깝게 도달하였으며, 차세대 형상 기반공정에 대한 연구가 시급한 실정이다. 3차원 자유 형상을 제작하는 방법으로 최근 세계적으로 이광자 광중합에 대한 연구가 활발히 진행되고 있지만, 실용화를 위한 연구는 아직 미흡한 실정이다. 이광자 광조형 공정 기술은 기존의 마이크로/나노 공정에서 제작이 불가능한 3차원 자유 형상 제작 공정의 실용화를 가능하게 함으로써 고집적화, 고기능화 된 차세대 초소형 3차원 부품 제작이 가능하다. 또한, 차세대 극미세 부품 제작 기술에 의해 획기적인 신규 시장 창출이 기대된다.
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